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Degradation of thin tungsten filaments at high temperature in HWCVD
Frigeri, Paolo Antonio; Nos Aguilà, Oriol; Bertomeu i Balagueró, Joan
Universitat de Barcelona
Tungstè
Deposició química en fase vapor
Silici
Catàlisi
Pel·lícules fines
Tungsten
Chemical vapor deposition
Silicon
Catalysis
Thin films
(c) Elsevier B.V., 2015
Artículo
info:eu-repo/semantics/acceptedVersion
Elsevier B.V.
         

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