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Technological solution for the automatic replacement of the catalytic filaments in HWCVD
Nos Aguilà, Oriol; Frigeri, Paolo Antonio; Bertomeu i Balagueró, Joan
Universitat de Barcelona
Deposició química en fase vapor
Silici
Catàlisi
Pel·lícules fines
Chemical vapor deposition
Silicon
Catalysis
Thin films
(c) Elsevier, 2015
Artículo
info:eu-repo/semantics/acceptedVersion
Elsevier
         

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