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Shutterless deposition of phosphorous doped microcrystalline silicon by Cat-CVD
Fonrodona Turon, Marta; Gordijn, A.; Van Veen, M. K.; Van der Werf, C. H. M.; Bertomeu i Balagueró, Joan; Andreu i Batallé, Jordi; Schropp, Ruud E. I., 1959-
Universitat de Barcelona
Silici
Catàlisi
Deposició química en fase vapor
Fòsfor
Cristalls
Cèl·lules solars
Pel·lícules fines
Silicon
Catalysis
Chemical vapor deposition
Phosphorus
Crystals
Solar cells
Thin films
(c) Elsevier B.V., 2003
Artículo
info:eu-repo/semantics/acceptedVersion
Elsevier B.V.
         

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