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A Second-Order Delta-Sigma Control of Dielectric Charge for Contactless Capacitive MEMS
Gorreta Mariné, Sergio; Pons Nin, Joan; Blokhina, Elena; Domínguez Pumar, Manuel
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies
Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica
Microelectromechanical systems.
Dielectric charging control
MEMS reliability
Sistemes microelectromecànics
Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Spain
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/es/
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