To access the full text documents, please follow this link: http://hdl.handle.net/2117/84731

Under pressure? Don’t lose direction! Smart sensors: Development of CMOS and MEMS on the same platform
Sánchez Chiva, José María; Banerji, Saoni
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica
-Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica
-Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Instrumentació i mesura::Sensors i actuadors
-Detectors
-MEMS
-CMOS-MEMS
-resonant sensor
-pressure sensor
-magnetometer
-electronic compass
-Detectors
-Electrònica -- Aparells i instruments
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/es/
Article - Published version
Conference Object
         

Show full item record

Related documents

Other documents of the same author

Sánchez Chiva, José María; Valle Fraga, Juan José; Fernández, Daniel; Madrenas Boadas, Jordi
Michalik, Piotr Jozef; Sánchez Chiva, José María; Fernández Martínez, Daniel; Madrenas Boadas, Jordi
Banerji, Saoni; Fernández, Daniel; Madrenas Boadas, Jordi
 

Coordination

 

Supporters