Characterization of dielectric charging in MEMS using Diffusive Representation

All of RECERCAT

To access the full text documents, please follow this link: http://hdl.handle.net/2117/99524

dc.contributor	Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica
dc.contributor	Universitat Politècnica de Catalunya. Departament de Teoria del Senyal i Comunicacions
dc.contributor	Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies
dc.contributor.author	Atienza García, María Teresa
dc.contributor.author	Gorreta Mariné, Sergio
dc.contributor.author	Pons Nin, Joan
dc.contributor.author	Domínguez Pumar, Manuel
dc.date	2016-09-22
dc.identifier.citation	Atienza, M., Gorreta, S., Pons, J., Dominguez, M. Characterization of dielectric charging in MEMS using Diffusive Representation. "IEEE transactions on industrial electronics", 22 Setembre 2016, vol. PP, núm. 99, p. 1.
dc.identifier.citation	0278-0046
dc.identifier.citation	10.1109/TIE.2016.2612619
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/2117/99524
dc.language.iso	eng
dc.publisher	Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
dc.relation	http://ieeexplore.ieee.org/document/7574316/
dc.rights	info:eu-repo/semantics/openAccess
dc.subject	Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria elèctrica
dc.subject	Electric charge and distribution
dc.subject	Càrrega i distribució elèctriques
dc.subject	Dielèctrics
dc.title	Characterization of dielectric charging in MEMS using Diffusive Representation
dc.type	info:eu-repo/semantics/submittedVersion
dc.type	info:eu-repo/semantics/article