Title:
|
Characterization of dielectric charging in MEMS using Diffusive Representation
|
Author:
|
Atienza García, María Teresa; Gorreta Mariné, Sergio; Pons Nin, Joan; Domínguez Pumar, Manuel
|
Other authors:
|
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. Departament de Teoria del Senyal i Comunicacions; Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies |
Subject(s):
|
-Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria elèctrica -Electric charge and distribution -Càrrega i distribució elèctriques -Dielèctrics |
Rights:
|
|
Document type:
|
Article - Submitted version Article |
Published by:
|
Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
|
Share:
|
|