Para acceder a los documentos con el texto completo, por favor, siga el siguiente enlace: http://hdl.handle.net/2117/19295

Nondestructive diagnosis of mechanical misalignments in dual axis accelerometers
Gómez Pau, Álvaro; Balado Suárez, Luz María; Figueras Pàmies, Joan
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. QINE - Disseny de Baix Consum, Test, Verificació i Tolerància a Fallades
Microelectromechanical systems production is still an immature technology compared to the classical semiconductor industry. MEMS fabrication and packaging processes may present misalignments which result in an improper placement of the internal microstructures or dies. In this work, the possibilities of diagnosing mechanical misalignments of dual axis IC accelerometers are explored. The used method dynamically correlates the two output signals in orthogonal directions. This leads to a Lissajous composition which is able to manifest the actual level of misalignment. The definition of a metric and its variation rate study allows the diagnosis procedure. Experimental results using a commercial dual axis capacitive accelerometer reveal diagnosis discrepancies as low as 1.1%, therefore showing the viability of the proposal.
Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Instrumentació i mesura
Accelerometers.
Mechanical movements.
Aceleròmetres
Moviments mecànics -- Anàlisi cinemàtica
Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Spain
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/es/
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
         

Mostrar el registro completo del ítem

Documentos relacionados

Otros documentos del mismo autor/a

Gómez Pau, Álvaro; Sanahuja Moliner, Ricard; Balado Suárez, Luz María; Figueras Pàmies, Joan
Gómez Pau, Álvaro; Sanahuja Moliner, Ricard; Balado Suárez, Luz María; Figueras Pàmies, Joan
Gómez Pau, Álvaro; Sanahuja Moliner, Ricard; Balado Suárez, Luz María; Figueras Pàmies, Joan
Gómez Pau, Álvaro; Balado Suárez, Luz María; Figueras Pàmies, Joan
Gómez Pau, Álvaro; Balado Suárez, Luz María; Figueras Pàmies, Joan