To access the full text documents, please follow this link: http://hdl.handle.net/2117/13852

A highly-repeatable, broadband 180º phase switch for integrated MEMS processes
Llamas Morote, Marco Antonio; Girbau Sala, David; Ribó, M.; Pradell i Cara, Lluís; Giacomozzi, Flavio; Colpo, S.; Coccetti, Favio; Aouba, Stephane
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament de Teoria del Senyal i Comunicacions; Universitat Politècnica de Catalunya. RF&MW - Grup de Recerca de sistemes, dispositius i materials de RF i microones
A broadband 0º/180º phase switch based on a slotline-coplanar-waveguide cross loaded with two MEMS switches in opposed (ON/OFF or OFF/ON) states, is reported. The fabrication was made on high-resistivity silicon substrates using the FBK-irst and LAAS-CNRS surface micromachining processes, showing a high repeatability. The measured phase shift is 180º +0º/-7º in the extremely wide frequency range 1–30 GHz.
Peer Reviewed
Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica i telecomunicacions::Radiocomunicació i exploració electromagnètica::Circuits de microones, radiofreqüència i ones mil·limètriques
Integrated circuits
Sistemes microelectromecànics
Microelectrònica
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
         

Show full item record

Related documents

Other documents of the same author

Giacomozzi, Flavio; Colpo, S.; Plana, Robert; Llamas Morote, Marco Antonio; Girbau Sala, David; Pausas, Esther; Pradell i Cara, Lluís; Aouba, Stephane; Villneuve, C.; Puyal, Vincent; Pons, Patrick
Llamas Morote, Marco Antonio; Girbau Sala, David; Ribó, M.; Pradell i Cara, Lluís; Giacomozzi, Flavio; Colpo, S
Llamas Morote, Marco Antonio; Pradell i Cara, Lluís; Girbau Sala, David; Ribó, Miquel; Lázaro Villa, José Antonio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno
Llamas Morote, Marco Antonio; Girbau Sala, David; Pradell i Cara, Lluís; Lázaro Guillén, Antoni; Giacomozzi, Flavio; Colpo, S
Girbau Sala, David; Llamas Morote, Marco Antonio; Casals Terré, Jasmina; Simó Selvas, Francisco Javier; Pradell i Cara, Lluís; Lázaro Guillén, Antoni
 

Coordination

 

Supporters