A self-test and dynamics characterization circuit for MEMS electrostatic actuators

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RECERCAT Principal > Universitat Politècnica de Catalunya > Documents de recerca > Visualizar documento

Para acceder a los documentos con el texto completo, por favor, siga el siguiente enlace: http://hdl.handle.net/2117/13195

dc.contributor	Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica
dc.contributor	Universitat Politècnica de Catalunya. AHA - Arquitectures Hardware Avançades
dc.contributor.author	Fernández Martínez, Daniel
dc.contributor.author	Madrenas Boadas, Jordi
dc.contributor.author	Cosp Vilella, Jordi
dc.date	2011-03
dc.identifier.citation	Fernandez, D.; Madrenas, J.; Cosp, J. A self-test and dynamics characterization circuit for MEMS electrostatic actuators. "Microelectronics reliability", Març 2011, vol. 51, núm. 3, p. 602-609.
dc.identifier.citation	0026-2714
dc.identifier.citation	10.1016/j.microrel.2010.09.027
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/2117/13195
dc.language.iso	eng
dc.rights	info:eu-repo/semantics/openAccess
dc.subject	Àrees temàtiques de la UPC::Informàtica::Hardware
dc.subject	MEMS
dc.subject	Microelectromechanical systems
dc.subject	Actuators -- Design and construction
dc.subject	Electrostatic actuators
dc.subject	Sistemes microelectromecànics
dc.subject	Actuadors
dc.title	A self-test and dynamics characterization circuit for MEMS electrostatic actuators
dc.type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type	info:eu-repo/semantics/article
dc.description.abstract	This paper presents a high-bandwidth capacitance estimation and driving circuit especially tailored for its use with MEMS electrostatic actuators. The circuit can be integrated as a part of a system comprising an electrostatic actuator to provide self-testing and failure prediction capabilities and also as a simple and low-cost actuator dynamics characterization system capable of measuring both periodic and nonperiodic movements.
dc.description.abstract	Peer Reviewed

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