Per accedir als documents amb el text complet, si us plau, seguiu el següent enllaç: http://hdl.handle.net/2117/13195
Títol:
|
A self-test and dynamics characterization circuit for MEMS electrostatic actuators
|
Autor/a:
|
Fernández Martínez, Daniel; Madrenas Boadas, Jordi; Cosp Vilella, Jordi
|
Altres autors:
|
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. AHA - Arquitectures Hardware Avançades |
Abstract:
|
This paper presents a high-bandwidth capacitance estimation and driving circuit especially tailored for its use with MEMS electrostatic actuators. The circuit can be integrated as a part of a system comprising
an electrostatic actuator to provide self-testing and failure prediction capabilities and also as a simple and
low-cost actuator dynamics characterization system capable of measuring both periodic and nonperiodic movements. |
Abstract:
|
Peer Reviewed |
Matèries:
|
-Àrees temàtiques de la UPC::Informàtica::Hardware -MEMS -Microelectromechanical systems -Actuators -- Design and construction -Electrostatic actuators -Sistemes microelectromecànics -Actuadors |
Drets:
|
|
Tipus de document:
|
Article - Versió publicada Article |
Compartir:
|
|
Mostra el registre complet del document