|
Título:
|
A flexoelectric microelectromechanical system on silicon
|
|
Autor/a:
|
Bhaskar, Umesh Kumar; Banerjee, Nirupam; Abdollahi Hosnijeh, Amir; Wang, Zhen; Scholm, Darrell G.; Rijnders, Guus; Catalan, Gustau
|
|
Otros autores:
|
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Civil i Ambiental; Universitat Politècnica de Catalunya. LACÀN - Mètodes Numèrics en Ciències Aplicades i Enginyeria |
|
Abstract:
|
Flexoelectricity allows a dielectric material to polarize in response to a mechanical bending moment and, conversely, to bend in response to an electric field. Compared with piezoelectricity, flexoelectricity is a weak effect of little practical significance in bulk materials. However, the roles can be reversed at the nanoscale. Here, we demonstrate that flexoelectricity is a viable route to lead-free microelectromechanical and nanoelectromechanical systems. Specifically, we have fabricated a silicon-compatible thin-film cantilever actuator with a single flexoelectrically active layer of strontium titanate with a figure of merit (curvature divided by electric field) of 3.33 MV-1, comparable to that of state-of-the-art piezoelectric bimorph cantilevers. |
|
Abstract:
|
Peer Reviewed |
|
Materia(s):
|
-Àrees temàtiques de la UPC::Matemàtiques i estadística::Matemàtica aplicada a les ciències
-Àrees temàtiques de la UPC::Matemàtiques i estadística::Investigació operativa::Optimització
-Automatic control
-Operations research
-flexoelectricity
-MEMS
-nanoscale
-piezoelectrics
-Control automàtic
-Investigació operativa
-Classificació AMS::70 Mechanics of particles and systems::70Q05 Control of mechanical systems
-Classificació AMS::90 Operations research, mathematical programming::90B Operations research and management science |
|
Derechos:
|
|
|
Tipo de documento:
|
Artículo - Versión presentada
Artículo |
|
Compartir:
|
|
