Per accedir als documents amb el text complet, si us plau, seguiu el següent enllaç: http://hdl.handle.net/2117/20585
dc.contributor | Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica |
---|---|
dc.contributor | Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies |
dc.contributor.author | López Rodríguez, Gema |
dc.contributor.author | Ortega Villasclaras, Pablo Rafael |
dc.contributor.author | Voz Sánchez, Cristóbal |
dc.contributor.author | Martín García, Isidro |
dc.contributor.author | Colina Brito, Mónica Alejandra |
dc.contributor.author | Morales Vilches, Ana Belén |
dc.contributor.author | Orpella García, Alberto |
dc.contributor.author | Alcubilla González, Ramón |
dc.date | 2013-11-06 |
dc.identifier.citation | Lopez, G. [et al.]. Surface passivation and optical characterization of Al2O3/a-SiCx stacks on c-Si substrates. "Beilstein Journal of Nanotechnology", 06 Novembre 2013, vol. 4, p. 726-731. |
dc.identifier.citation | 2190-4286 |
dc.identifier.citation | 10.3762/bjnano.4.82 |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2117/20585 |
dc.language.iso | eng |
dc.rights | Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Spain |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
dc.rights | http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/es/ |
dc.subject | Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica |
dc.subject | Aluminum oxide. |
dc.subject | Amorphous substances. |
dc.subject | Òxid d'alumini |
dc.subject | Silicones |
dc.title | Surface passivation and optical characterization of Al2O3/a-SiCx stacks on c-Si substrates |
dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion |
dc.type | info:eu-repo/semantics/article |
dc.description.abstract |