Enabling electromechanical transduction in silicon nanowire mechanical resonators fabricated by focused ion beam implantation
Llobet Sixto, Jordi; Sansa Perna, Marc; Gerbolés, M.; Mestres i Andreu, Narcís; Arbiol i Cobos, Jordi; Borrisé, Xavier; Pérez Murano, Francesc
04-02-2023
-Nanofabrication
-Silicon nanowires
-Electrical transduction
-FIB gallium implantation
-NEMS
open access
Tots els drets reservats.
https://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/
Article
         
https://ddd.uab.cat/record/270829

Mostrar el registro completo del ítem

Documentos relacionados

Otros documentos del mismo autor/a

Lorenzoni, Matteo; Llobet Sixto, Jordi; Gramazio, Federico; Sansa Perna, Marc; Fraxedas, Jordi; Pérez Murano, Francesc
Llobet Sixto, Jordi; Krali, Emiljana; Wang, Chen; Arbiol i Cobos, Jordi; Jones, Mervyn E.; Pérez Murano, Francesc; Durrani, Zahid A. K.; ALBA Laboratori de Llum de Sincrotró
Marigó Ferrer, Eloi; Sansa Perna, Marc; Pérez Murano, Francesc; Uranga del Monte, Aránzazu; Barniol i Beumala, Núria
Pina Estany, Jordi; Colominas, Carles; Fraxedas, Jordi; Llobet Sixto, Jordi; Pérez Murano, Francesc; Puigoriol-Forcada, Josep Maria; Ruso, D.; García Granada, Andrés
Llobet Sixto, Jordi; Llobet Sixto, Jordi; Universitat Autònoma de Barcelona. Escola Tècnica Superior d'Enginyeria; Universitat Autònoma de Barcelona. Escola Tècnica Superior d'Enginyeria; Universitat Autònoma de Barcelona. Escola d'Enginyeria; Universitat Autònoma de Barcelona. Escola d'Enginyeria