Title: | A CMOS-MEMS BEOL 2-axis Lorentz-Force magnetometer with device-level offset cancellation |
---|---|
Author: | Sánchez-Chiva, Josep Maria; Valle, Juan; Fernández Martínez, Daniel; Madrenas, Jordi |
Abstract: | |
Subject(s): | -MEMS -Magnetic sensor -Magnetometer -Lorentz-force -Offset suppression -Micromachined Resonator -Micromechanical oscillator |
Rights: | open access
Aquest document està subjecte a una llicència d'ús Creative Commons. Es permet la reproducció total o parcial, la distribució, la comunicació pública de l'obra i la creació d'obres derivades, fins i tot amb finalitats comercials, sempre i quan es reconegui l'autoria de l'obra original. https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ |
Document type: | Article |
Published by: | |
Share: | |
Uri: | https://ddd.uab.cat/record/253010 |