A CMOS-MEMS BEOL 2-axis Lorentz-Force magnetometer with device-level offset cancellation
Sánchez-Chiva, Josep Maria; Valle, Juan; Fernández Martínez, Daniel; Madrenas, Jordi
-MEMS
-Magnetic sensor
-Magnetometer
-Lorentz-force
-Offset suppression
-Micromachined Resonator
-Micromechanical oscillator
open access
Aquest document està subjecte a una llicència d'ús Creative Commons. Es permet la reproducció total o parcial, la distribució, la comunicació pública de l'obra i la creació d'obres derivades, fins i tot amb finalitats comercials, sempre i quan es reconegui l'autoria de l'obra original.
https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
Article
         
https://ddd.uab.cat/record/253010

Show full item record

Related documents

Other documents of the same author

Mata-Hernandez, Diana; Fernández Martínez, Daniel; Banerji, Saoni; Madrenas, Jordi
Madrenas Boadas, Jordi; Fernández Martínez, Daniel; Wang, Chunyan
Michalik, Piotr Jozef; Madrenas Boadas, Jordi; Fernández Martínez, Daniel
 

Coordination

 

Supporters