Para acceder a los documentos con el texto completo, por favor, siga el siguiente enlace: http://hdl.handle.net/2445/8759

Residual Stress Measurement on a MEMS Structure With High-Spatial Resolution
Sabaté Vizcarra, Neus; Vogel, Dietmar; Gollhardt, Astrid; Keller, Jürgen; Cané i Ballart, Carles; Gràcia Tortadés, Isabel; Morante i Lleonart, Joan Ramon; Michel, Bernd
Universitat de Barcelona
Sistemes microelectromecànics
Assaigs de materials
Focused ion beam technology
Internal stresses
Materials testing
Micromechanical devices
Stress measurement
(c) IEEE, 2007
Artículo
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
IEEE
         

Mostrar el registro completo del ítem

Documentos relacionados

Otros documentos del mismo autor/a

Samà, Jordi; Barth, Sven; Domènech Gil, Guillem; Prades García, Juan Daniel; López, Núria (López Alonso); Casals Guillén, Olga; Gràcia Tortadés, Isabel; Cané i Ballart, Carles; Romano Rodríguez, Alberto
Samà, Jordi; Barth, Sven; Jiménez Díaz, Román; Prades García, Juan Daniel; Casals Guillén, Olga; Gràcia Tortadés, Isabel; Cané i Ballart, Carles; Romano Rodríguez, Alberto
Samà, Jordi; Prades García, Juan Daniel; Casals Guillén, Olga; Barth, Sven; Gràcia Tortadés, Isabel; Cané i Ballart, Carles; Domènech Gil, Guillem; Hernández Ramírez, Francisco; Romano Rodríguez, Alberto
Merino Panadés, José Luis; Bota Ferragut, Sebastián Antonio; Casanova Mohr, Raimon; Diéguez Barrientos, Àngel; Cané i Ballart, Carles; Samitier i Martí, Josep
López Villegas, José María; Samitier i Martí, Josep; Cané i Ballart, Carles; Losantos, Pere; Bausells, Joan