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Título: | Caracterización y control de los efectos de la carga parásita en dispositivos MEMS |
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Autor/a: | López Esteban, David |
Otros autores: | Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Pons Nin, Joan |
Abstract: | |
Materia(s): | -Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Microelectrònica -Microelectromechanical systems -Sistemes microelectromecànics |
Derechos: | Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Spain
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/es/ |
Tipo de documento: | Trabajo/Proyecto fin de carrera |
Editor: | Universitat Politècnica de Catalunya |
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