To access the full text documents, please follow this link: http://hdl.handle.net/2117/118024

Macroporous silicon: a versatile material for 3D structure fabrication
Todorov Trifonov, Trifon; Rodríguez Martínez, Ángel; Marsal, L F; Pallares, J; Alcubilla González, Ramón
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies
Àrees temàtiques de la UPC::Física::Física de l'estat sòlid::Semiconductors
Silicon
Macroporous silicon
Electrochemical etching
Three-dimensional structures
Photonic crystals
Silicon micromachining
Silici
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
Article
         

Show full item record

Related documents

Other documents of the same author

Tymczenko, M; Marsal, L E; Todorov Trifonov, Trifon; Rodriguez, Isabelle; Ramiro-Manzano, F; Pallares, J; Rodríguez Martínez, Ángel; Alcubilla González, Ramón; Meseguer, F
Marsal, L F; Todorov Trifonov, Trifon; Rodríguez Martínez, Ángel; Pallarés, J; Alcubilla González, Ramón
Todorov Trifonov, Trifon; Marsal, L F; Rodríguez Martínez, Ángel; Pallarès Marzal, Josep; Alcubilla González, Ramón
Rodríguez Martínez, Ángel; Molinero, D; Valera Cano, Enrique Andrés; Todorov Trifonov, Trifon; Marsal, L F; Pallarès Marzal, Josep; Alcubilla González, Ramón
Todorov Trifonov, Trifon; Marsal, L F; Rodríguez Martínez, Ángel; Pallarès Marzal, Josep; Alcubilla González, Ramón
 

Coordination

 

Supporters