Para acceder a los documentos con el texto completo, por favor, siga el siguiente enlace: http://hdl.handle.net/2117/115412

Curvature of BEOL cantilevers in CMOS-MEMS processes
Valle, Juan José; Fernández Martínez, Daniel; Madrenas Boadas, Jordi; Barrachina, Laura
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. AHA - Arquitectures Hardware Avançades
Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Microelectrònica
Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Microelectrònica::Circuits integrats
Microelectromechanical systems
Integrated circuits -- Design and construction
Complementary metal-oxide semiconductor microelectromechanical systems (CMOS-MEMS)
Bending stiffness
Curvature
Stacks
Temperature
Test cantilevers
Sistemes microelectromecànics
Circuits integrats -- Disseny i construcció
info:eu-repo/semantics/submittedVersion
Artículo
         

Mostrar el registro completo del ítem

Documentos relacionados

Otros documentos del mismo autor/a

Banerji, Saoni; Fernández Martínez, Daniel; Madrenas Boadas, Jordi
Banerji, Saoni; Madrenas Boadas, Jordi; Fernández Martínez, Daniel
Michalik, Piotr Jozef; Sánchez Chiva, José María; Fernández Martínez, Daniel; Madrenas Boadas, Jordi
Madrenas Boadas, Jordi; Fernández Martínez, Daniel; Cosp Vilella, Jordi; Moreno Aróstegui, Juan Manuel; Martínez Alvarado, Luis Arturo; Sánchez Rivera, Giovanny
Fernández Martínez, Daniel; Madrenas Boadas, Jordi; Cosp Vilella, Jordi