To access the full text documents, please follow this link: http://hdl.handle.net/2117/113363
Title: | Fabrication of silicon oxide microneedles from macroporous silicon |
---|---|
Author: | Rodríguez Martínez, Ángel; Molinero, D; Valera Cano, Enrique Andrés; Todorov Trifonov, Trifon; Marsal, L F; Pallarès Marzal, Josep; Alcubilla González, Ramón |
Other authors: | Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies |
Abstract: | |
Abstract: | |
Subject(s): | -Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Components electrònics::Díodes -Silicon diodes -Microneedles -Microsyringes -Macroporous silicon -Electrochemical etching -Díodes de silici |
Rights: | Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Spain
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/es/ |
Document type: | Article - Published version Article |
Share: |