To access the full text documents, please follow this link: http://hdl.handle.net/2117/90027
Title: | Microcantilever Displacement Measurement Using a Mechanically Modulated Optical Feedback Interferometer |
---|---|
Author: | Azcona Guerrero, Francisco Javier; Jha, Ajit; Yáñez Alvarado, Carlos René; Atashkhooei, Reza; Royo Royo, Santiago |
Other authors: | Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Òptica i Optometria; Universitat Politècnica de Catalunya. GREO - Grup de Recerca en Enginyeria Òptica |
Abstract: | |
Subject(s): | -Àrees temàtiques de la UPC::Ciències de la visió::Òptica física -Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Instrumentació i mesura -Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria dels materials -Optical fiber detectors -Atomic force microscopy -Resolution (Optics) -Nanoscience -Measuring instruments -optical feedback interferometry -displacement measurement -nanometric resolution -atomic force microscopy -Detectors de fibra òptica -Microscòpia de força atòmica -Nanociència -Mesurament -- Instruments -Detectors òptics |
Rights: | http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/es/ |
Document type: | Article - Published version Article |
Share: |