Title:
|
Circuit modeling of a MEMS varactor including dielectric charging dynamics
|
Author:
|
Giounanlis, Panagiotis; Andrade Miceli, Dennis; Gorreta Mariné, Sergio; Pons Nin, Joan; Domínguez Pumar, Manuel; Blokhina, Elena
|
Other authors:
|
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament de Teoria del Senyal i Comunicacions; Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies |
Abstract:
|
Electrical models for MEMS varactors including the effect of dielectric charging dynamics are not available in commercial circuit simulators. In this paper a circuit model using lumped ideal elements available in the Cadence libraries and a basic Verilog-A model, has been implemented. The model has been used to simulate the dielectric charging in function of time and its effects over the MEMS capacitance value. |
Abstract:
|
Peer Reviewed |
Subject(s):
|
-Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria elèctrica -Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria mecànica -Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria de la telecomunicació -Microelectromechanical systems -Sistemes microelectromecànics |
Rights:
|
|
Document type:
|
Article - Published version Article |
Published by:
|
Institute of Physics (IOP)
|
Share:
|
|