To access the full text documents, please follow this link: http://hdl.handle.net/2117/84998
Title: | CMOS BEOL-embedded z-axis accelerometer |
---|---|
Author: | Michalik, Piotr Jozef; Sánchez Chiva, José María; Fernández Martínez, Daniel; Madrenas Boadas, Jordi |
Other authors: | Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. CETpD -Centre d'Estudis Tecnològics per a l'Atenció a la Dependència i la Vida Autònoma |
Abstract: | |
Subject(s): | -Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica -Electric engineering -Electrònica -- Aparells i instruments -Aceleròmetres |
Rights: | http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/es/ |
Document type: | Article - Published version Article |
Published by: | Institution of Electrical Engineers |
Share: |