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Effect of the base pressure achieved prior deposition on the main properties of ZnO:Al films obtained by DC magnetron sputtering at room temperature for electrical contact use
García-Valenzuela, Jorge A.; Andreu i Batallé, Jordi; Bertomeu i Balagueró, Joan
Universitat de Barcelona
Buit (Tecnologia)
Resistència elèctrica
Pel·lícules fines
Alumini
Vacuum technology
Electric resistance
Thin films
Aluminum
(c) American Vacuum Society, 2017
Artículo
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
American Vacuum Society
         

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