Piezo-MUMPS batch #1. First Report.

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RECERCAT Principal > Universitat Politècnica de Catalunya > Documents de recerca > Visualizar documento

Para acceder a los documentos con el texto completo, por favor, siga el siguiente enlace: http://hdl.handle.net/2117/26811

dc.contributor	Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica
dc.contributor	Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies
dc.contributor.author	Pons Nin, Joan
dc.contributor.author	Gorreta Mariné, Sergio
dc.contributor.author	Domínguez Pumar, Manuel
dc.contributor.author	Blokhina, Elena
dc.contributor.author	O'Connell, D.
dc.date	2013-07-12
dc.identifier.citation	Pons, J. [et al.]. "Piezo-MUMPS batch #1. First Report.". 2013.
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/2117/26811
dc.language.iso	eng
dc.rights	info:eu-repo/semantics/openAccess
dc.subject	Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Components electrònics
dc.subject	Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Microelectrònica::Circuits integrats
dc.subject	Nanoelectronics
dc.subject	Nanoelectrònica
dc.title	Piezo-MUMPS batch #1. First Report.
dc.type	info:eu-repo/semantics/submittedVersion
dc.type	info:eu-repo/semantics/report
dc.description.abstract	Informe confidencial encarregat per l'empresa nord-americana MEMSCAP, dedicada a la fabricació i comercialització de dispositius micro i nano electro-mecànics MEMS-NEMS. Aquesta empresa ha sel.leccionat diversos usuaris avançats per tal que provin el batch inaugural d'una nova tecnologia de MEMS amb materials piezoelèctrics, anomenada PizeoMUMPS, que està previst comercialitzar en el darrer trimestre de 2013. Aquest informe confidencial avalúa les prestacions d'una sèrie de dispositius dissenyats per membres de la UPC i del University College de Dublin i fets amb aquesta tecnologia.

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