Título:
|
Micropower thermoelectric generator from thin Si membranes
|
Autor/a:
|
Pérez Marín, A. P.; Lopeandía, A. F.; Abad, L.; Ferrando-Villaba, P.; López Martínez, Antonio Miguel; García, G.; Muñoz Pascual, F.X.; Rodriguez Viejo, J.
|
Otros autores:
|
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. INSIDE - Innovació en Sistemes per al Disseny i la Formació a l'Enginyeria |
Abstract:
|
We report the development of a Si-based micro thermogenerator build from silicon-on-insulator by using standard CMOS processing. Ultrathin single-crystalline Si membranes, 100 nm in thickness, with embedded n and p-type doped regions electrically connected in series and thermally in parallel, are active elements of the thermoelectric device that generate thermopower under various thermal gradients. This proof-of-concept device produces an output power density of 4.5 µW/cm2, under a temperature difference of 5 K, opening the way to envisage integration as wearable thermoelectrics for body energy scavenging. |
Abstract:
|
Peer Reviewed |
Materia(s):
|
-Àrees temàtiques de la UPC::Energies::Termoenergètica -Metal oxide semiconductors, Complementary -Membranes (Technology) -Thermogenerator -CMOS -Thermoelectric -Low-dimensional Si -Planar thermoelectric generator -Power output -Si membrane -Silici -- Propietats elèctriques -Electrotècnia -Microelectrònica |
Derechos:
|
|
Tipo de documento:
|
Artículo - Borrador Artículo |
Compartir:
|
|