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Título: | High-density capacitor devices based on macroporous silicon and metal electroplating |
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Autor/a: | Vega, Didac; Reina Marsinyach, Jordi; Pavón Urbano, Ramón; Rodríguez Martínez, Ángel |
Otros autores: | Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies |
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Materia(s): | -Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica -Porous silicon -Capacitors -Electrochemical etching -Electrodeposition -High density capacitors -Porous silicon -Silici porós -Condensadors elèctrics |
Derechos: | Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Spain
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/es/ |
Tipo de documento: | Artículo - Versión publicada Artículo |
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