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Para acceder a los documentos con el texto completo, por favor, siga el siguiente enlace: http://hdl.handle.net/2117/13852

Título:	A highly-repeatable, broadband 180º phase switch for integrated MEMS processes
Autor/a:	Llamas Morote, Marco Antonio; Girbau Sala, David; Ribó, M.; Pradell i Cara, Lluís; Giacomozzi, Flavio; Colpo, S.; Coccetti, Favio; Aouba, Stephane
Otros autores:	Universitat Politècnica de Catalunya. Departament de Teoria del Senyal i Comunicacions; Universitat Politècnica de Catalunya. RF&MW - Grup de Recerca de sistemes, dispositius i materials de RF i microones
Abstract:	A broadband 0º/180º phase switch based on a slotline-coplanar-waveguide cross loaded with two MEMS switches in opposed (ON/OFF or OFF/ON) states, is reported. The fabrication was made on high-resistivity silicon substrates using the FBK-irst and LAAS-CNRS surface micromachining processes, showing a high repeatability. The measured phase shift is 180º +0º/-7º in the extremely wide frequency range 1–30 GHz.
Abstract:	Peer Reviewed
Materia(s):	-Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria de la telecomunicació::Radiocomunicació i exploració electromagnètica::Circuits de microones, radiofreqüència i ones mil·limètriques -Integrated circuits -Sistemes microelectromecànics -Microelectrònica
Derechos:
Tipo de documento:	Artículo - Versión publicada Objeto de conferencia
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