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RF-MEMS uniplanar 180º Phase Switch based on switching between two out-of-phase paths
Llamas Morote, Marco Antonio; Pradell i Cara, Lluís; Girbau Sala, David; Ribó, Miquel; Lázaro Villa, José Antonio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament de Teoria del Senyal i Comunicacions; Universitat Politècnica de Catalunya. GCO - Grup de Comunicacions Òptiques; Universitat Politècnica de Catalunya. RF&MW - Grup de Recerca de sistemes, dispositius i materials de RF i microones
A phase switch based on switching between two twoport passive networks with a phase difference of 180º is reported. Two RF MEMS single-pole-double-throw structures are used to select the phase path. The fabrication is made on both highresistivity silicon and quartz substrates using the eight-mask FBK-irst surface micromachining process. The measured phase shift is 180º±5º in the frequency range 14−20 GHz on quartz wafers and in the range 8−20 Ghz on silicon wafers.
Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria de la telecomunicació
Radio frequency microelectromechanical systems
Signal theory (Telecommunication)
Microelectromechanical systems
Senyal, Teoria del (Telecomunicació)
Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Spain
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/es/
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