Optimization of a novel micro-opto-X-ray imaging lens

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RECERCAT Principal > Universitat Politècnica de Catalunya > Documents de recerca > Visualizar documento

Para acceder a los documentos con el texto completo, por favor, siga el siguiente enlace: http://hdl.handle.net/2117/8157

dc.contributor	Universitat Politècnica de Catalunya. Departament de Matemàtica Aplicada III
dc.contributor	Universitat Politècnica de Catalunya. LACÀN - Mètodes Numèrics en Ciències Aplicades i Enginyeria
dc.contributor.author	Ostadi, Hossein
dc.contributor.author	Arroyo Balaguer, Marino
dc.contributor.author	Prewett, P.D.
dc.contributor.author	Jiang, K.C.
dc.contributor.author	Huq, S.E.
dc.date	2008-06
dc.identifier.citation	Ostadi, H. [et al.]. Optimization of a novel micro-opto-X-ray imaging lens. "Microelectronic engineering", Juny 2008, vol. 85, núm. 5-6, p. 1086-1088.
dc.identifier.citation	0167-9317
dc.identifier.citation	10.1016/j.mee.2008.01.096
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/2117/8157
dc.language.iso	eng
dc.rights	info:eu-repo/semantics/openAccess
dc.subject	Àrees temàtiques de la UPC::Física::Electromagnetisme::Raigs X
dc.subject	X-ray
dc.subject	Raigs X
dc.title	Optimization of a novel micro-opto-X-ray imaging lens
dc.type	info:eu-repo/semantics/submittedVersion
dc.type	info:eu-repo/semantics/article
dc.description.abstract	A mechanically deformable reflection transmission MOEMS system is capable of focusing X-rays to sub micron spots. This paper considers the geometry of the proposed deformed slotted microcantilever lens element under thermally derived strain, using finite element analysis. The work shows that an optimized MOEMS design using a slotted polyimide/gold thermal bimorph cantilever is capable of achieving ideal geometry with a larger than expected number of focusing slots – up to 111 at 2 μm width.
dc.description.abstract	Peer Reviewed

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