Per accedir als documents amb el text complet, si us plau, seguiu el següent enllaç: http://hdl.handle.net/2117/119
Títol: | Modelling the electrostatic actuation of MEMS: state of the art 2005. |
---|---|
Autor/a: | Costa Castelló, Ramon; Shkel, A.M.; Fargas Marquès, A. |
Abstract: | |
Matèries: | -Àrees temàtiques de la UPC::Informàtica::Automàtica i control |
Drets: | Attribution-NonCommercial-NoDerivs 2.5 Spain
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/2.5/es/ |
Tipus de document: | Informe |
Publicat per: | Universitat Politècnica de Catalunya. Institut d'Organització i Control de Sistemes Industrials |
Compartir: |