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| Título: | Nano particles in SiH4-Ar plasma: Modelling and comparison with experimental data |
|---|---|
| Autor/a: | Gordiets, F.B.; Inestrosa-Izurieta, M.J.; Navarro Sentanyes, Antonio; Bertran, Enric |
| Otros autores: | Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Química; Universitat Politècnica de Catalunya. SPPT - Superfícies, Productes i Processos Tèxtils |
| Materia(s): | -Àrees temàtiques de la UPC::Física -Nanoparticles -Nanotechnology -Thin films -Plasma chemistry -Nanopartícules -Nanotecnologia -Pel·lícules fines -Plasma |
| Derechos: | Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Spain
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/es/ |
| Tipo de documento: | Artículo - Versión publicada Artículo |
| Editor: |
American Institute of Physics (AIP); Published by American Institute of Physics |
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