To access the full text documents, please follow this link: http://hdl.handle.net/2445/25054

A fully automated hot-wall multiplasma-monochamber reactor for thin film deposition
Roca i Cabarrocas, P. (Pere); Chevrier, J. B.; Huc, J.; Lloret, A.; Parey, J. Y.; Schmitt, J. P. M.
Universitat de Barcelona
Pel·lícules fines
Semiconductors amorfs
Radiofreqüència
Cèl·lules solars
Thin films
Amorphous semiconductors
Radio frequency
Solar cells
(c) American Institute of Physics, 1991
Article
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
American Institute of Physics
         

Show full item record

Related documents

Other documents of the same author

Cifre, J.; Bertomeu i Balagueró, Joan; Puigdollers i González, Joaquim; Polo Trasancos, Ma. del Carmen; Andreu i Batallé, Jordi; Lloret, A.
Puigdollers i González, Joaquim; Cifre, J.; Polo Trasancos, Ma. del Carmen; Bertomeu i Balagueró, Joan; Andreu i Batallé, Jordi; Lloret, A.
Lloret, A.; Bertran Serra, Enric; Andújar Bella, José Luis; Canillas i Biosca, Adolf; Morenza Gil, José Luis
Andújar Bella, José Luis; Bertran Serra, Enric; Canillas i Biosca, Adolf; Campmany i Guillot, Josep, 1966-; Serra-Miralles, J.; Roch i Cunill, Carles; Lloret, A.
Kail, F.; Farjas Silva, Jordi; Roura Grabulosa, Pere; Secouard, C.; Nos Aguilà, Oriol; Bertomeu i Balagueró, Joan; Roca i Cabarrocas, P. (Pere)
 

Coordination

 

Supporters