Per accedir als documents amb el text complet, si us plau, seguiu el següent enllaç: http://hdl.handle.net/2445/25053

Ion assisted deposition of thin films by substrate tuned radio frequency magnetron sputtering
Lousa Rodríguez, Arturo; Gimeno, S.
Universitat de Barcelona
Pel·lícules fines
Radiofreqüència
Ions
Nitrur de bor
Thin films
Radio frequency
Ions
Boron nitride
(c) American Institute of Physics, 1997
Article
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
American Institute of Physics
         

Mostra el registre complet del document

Documents relacionats

Altres documents del mateix autor/a

Badia, Ferran; Ferrater Martorell, Cèsar; Lousa Rodríguez, Arturo; Martínez Perea, Benjamin; Labarta, Amílcar; Tejada Palacios, Javier
Badia, Ferran; Ferrater Martorell, Cèsar; Lousa Rodríguez, Arturo; Martínez Perea, Benjamin; Labarta, Amílcar; Tejada Palacios, Javier
Varela Fernández, Manuel, 1956-; Bertrán Serra, Enric; Lousa Rodríguez, Arturo; Esteve Pujol, Joan; Morenza Gil, José Luis