To access the full text documents, please follow this link: http://hdl.handle.net/2445/24793

Polymorphous Si thin films from radio frequency plasmas of SiH4 diluted in Ar: A study by transmission electron microscopy and Raman spectroscopy
Viera Mármol, Gregorio; Huet, S.; Bertrán Serra, Enric; Boufendi, L.
Universitat de Barcelona
Pel·lícules fines
Espectroscòpia Raman
Nanoestructures
Microelectrònica
Radiofreqüència
Optoelectrònica
Thin films
Raman spectroscopy
Nanostructures
Microelectronics
Radio frequency
Optoelectronics
(c) American Institute of Physics, 2001
Article
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
American Institute of Physics
         

Show full item record

Related documents

Other documents of the same author

Viera Mármol, Gregorio; Mikikian, M.; Bertrán Serra, Enric; Roca i Cabarrocas, P. (Pere); Boufendi, L.
Das, Debabrata; Farjas Silva, Jordi; Roura Grabulosa, Pere; Viera Mármol, Gregorio; Bertrán Serra, Enric
Courteille, C.; Hollenstein, Ch.; Dorier, J. L.; Gay, P.; Schwarzenbach, W.; Howling, A. A.; Bertrán Serra, Enric; Viera Mármol, Gregorio; Martins, R.; Macarico, A.
Bertrán Serra, Enric; Sharma, S. N.; Viera Mármol, Gregorio; Costa i Balanzat, Josep; St'ahel, P.; Roca i Cabarrocas, P. (Pere)
Bertrán Serra, Enric; Costa i Balanzat, Josep; Viera Mármol, Gregorio; Zhang, R. Q.
 

Coordination

 

Supporters