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Ion-beam synthesis of amorphous SiC films: Structural analysis and recrystallization
Serre, Christophe; Calvo Barrio, Lorenzo; Pérez Rodríguez, Alejandro; Romano Rodríguez, Alberto; Morante i Lleonart, Joan Ramon; Pacaud, Y.; Kögler, Reinhard; Heera, Viton; Skorupa, Wolfgang
Universitat de Barcelona
Implantació d'ions
Silici
Ion implantation
Silicon
(c) American Institute of Physics, 1996
Artículo
Artículo - Versión publicada
American Institute of Physics
         

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