2026-04-17T15:43:34Zhttps://recercat.cat/oai/requestoai:recercat.cat:2117/268222026-01-21T11:32:27Zcom_2072_1033col_2072_452950
Surface passivation and optical characterization of Al2O3/a-SiCx stacks on c-Si substrates
López Martí, Gema
Ortega Villasclaras, Pablo Rafael
Voz Sánchez, Cristóbal
Martín García, Isidro
Colina Brito, Mónica Alejandra
Morales Vilches, Ana Belén
Orpella García, Alberto
Alcubilla González, Ramón
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica
Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies
Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Microelectrònica
Nanoelectronics
Nanoelectrònica
Postprint (published version)
2013
Other
López, G. [et al.]. Surface passivation and optical characterization of Al2O3/a-SiCx stacks on c-Si substrates. A: E-MRS Spring Meeting. "E-MRS 2013 Spring Meeting. Congres Center - Strasbourg, France May 27th - 31st, 2013". Strasbourg: 2013, p. 1.
https://hdl.handle.net/2117/26822
eng
Restricted access - publisher's policy
1 p.
application/pdf