Para acceder a los documentos con el texto completo, por favor, siga el siguiente enlace: http://hdl.handle.net/2445/8759

Residual Stress Measurement on a MEMS Structure With High-Spatial Resolution
Sabaté Vizcarra, Neus; Vogel, Dietmar; Gollhardt, Astrid; Keller, Jürgen; Cané i Ballart, Carles; Gràcia Tortadés, Isabel; Morante i Lleonart, Joan Ramon; Michel, Bernd
Universitat de Barcelona
Sistemes microelectromecànics
Assaigs de materials
Focused ion beam technology
Internal stresses
Materials testing
Micromechanical devices
Stress measurement
(c) IEEE, 2007
Artículo
IEEE
         

Mostrar el registro completo del ítem

Documentos relacionados

Otros documentos del mismo autor/a

Samà, Jordi; Barth, Sven; Domènech Gil, Guillem; Prades García, Juan Daniel; López, Núria (López Alonso); Casals Guillén, Olga; Gràcia Tortadés, Isabel; Cané i Ballart, Carles; Romano Rodríguez, Alberto
Samà, Jordi; Barth, Sven; Jiménez Díaz, Román; Prades García, Juan Daniel; Casals Guillén, Olga; Gràcia Tortadés, Isabel; Cané i Ballart, Carles; Romano Rodríguez, Alberto
Samà, Jordi; Prades García, Juan Daniel; Casals Guillén, Olga; Barth, Sven; Gràcia Tortadés, Isabel; Cané i Ballart, Carles; Domènech Gil, Guillem; Hernández Ramírez, Francisco; Romano Rodríguez, Alberto
Merino Panadés, José Luis; Bota Ferragut, Sebastián Antonio; Casanova Mohr, Raimon; Diéguez Barrientos, Àngel; Cané i Ballart, Carles; Samitier i Martí, Josep
López Villegas, José María; Samitier i Martí, Josep; Cané i Ballart, Carles; Losantos, Pere; Bausells, Joan