To access the full text documents, please follow this link: http://hdl.handle.net/2099.1/7610
Title: | Caracterización y control de los efectos de la carga parásita en dispositivos MEMS |
---|---|
Author: | López Esteban, David |
Other authors: | Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Pons Nin, Joan |
Abstract: | |
Subject(s): | -Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Microelectrònica -Microelectromechanical systems -Sistemes microelectromecànics |
Rights: | Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Spain
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/es/ |
Document type: | Bachelor Thesis |
Published by: | Universitat Politècnica de Catalunya |
Share: |