Per accedir als documents amb el text complet, si us plau, seguiu el següent enllaç: http://hdl.handle.net/2117/84741
dc.contributor | Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica |
---|---|
dc.contributor | Universitat Politècnica de Catalunya. CETpD -Centre d'Estudis Tecnològics per a l'Atenció a la Dependència i la Vida Autònoma |
dc.contributor.author | Banerji, Saoni |
dc.contributor.author | Madrenas Boadas, Jordi |
dc.contributor.author | Fernández Martínez, Daniel |
dc.date | 2015 |
dc.identifier.citation | Banerji, S., Madrenas, J., Fernández, D. Optimization of parameters for CMOS MEMS resonant pressure sensors. A: Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS. "DTIP 2015 Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS. Montpellier, France. 27-30 April 2015". Montpellier: Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE), 2015, p. 107-112. |
dc.identifier.citation | 978-1-4799-8626-2 |
dc.identifier.citation | IEEE |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2117/84741 |
dc.language.iso | eng |
dc.publisher | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
dc.subject | Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Instrumentació i mesura::Sensors i actuadors |
dc.subject | CMOS MEMS Resonant pressure sensor |
dc.subject | squeezefilm air damping |
dc.subject | perforated plate |
dc.subject | MATLAB |
dc.subject | Electrònica -- Aparells i instruments |
dc.title | Optimization of parameters for CMOS MEMS resonant pressure sensors |
dc.type | info:eu-repo/semantics/submittedVersion |
dc.type | info:eu-repo/semantics/conferenceObject |
dc.description.abstract |