To access the full text documents, please follow this link: http://hdl.handle.net/2117/84741

Optimization of parameters for CMOS MEMS resonant pressure sensors
Banerji, Saoni; Madrenas Boadas, Jordi; Fernández Martínez, Daniel
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. CETpD - Centre d’Estudis Tecnològics per a l’Atenció a la Dependència i la Vida Autònoma
Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Instrumentació i mesura::Sensors i actuadors
CMOS MEMS Resonant pressure sensor
squeezefilm air damping
perforated plate
MATLAB
Electrònica -- Aparells i instruments
info:eu-repo/semantics/submittedVersion
info:eu-repo/semantics/conferenceObject
Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
         

Show full item record

Related documents

Other documents of the same author

Fernández Martínez, Daniel; Madrenas Boadas, Jordi; Cosp Vilella, Jordi
Madrenas Boadas, Jordi; Fernández Martínez, Daniel; Cosp Vilella, Jordi; Moreno Aróstegui, Juan Manuel; Martínez Alvarado, Luis Arturo; Sánchez Rivera, Giovanny
Michalik, Piotr Jozef; Madrenas Boadas, Jordi; Fernández Martínez, Daniel
Martínez Alvarado, Luis Arturo; Madrenas Boadas, Jordi; Fernández Martínez, Daniel
Madrenas Boadas, Jordi; Fernández Martínez, Daniel; Wang, Chunyan
 

Coordination

 

Supporters