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Crystal growth characterization of polycrystalline silicon films obtained by hot-wire chemical vapour deposition
Polo Trasancos, Ma. del Carmen; Peiró Martínez, Francisca; Cifre, J.; Bertomeu i Balagueró, Joan; Puigdollers i González, Joaquim; Andreu i Batallé, Jordi
Universitat de Barcelona
Silici
Deposició química en fase vapor
Pel·lícules fines
Creixement cristal·lí
Silicon
Chemical vapor deposition
Thin films
Crystal growth
cc-by (c) Polo Trasancos, Ma. del Carmen et al., 1995
http://creativecommons.org/licenses/by/3.0/es
Artículo
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
Institute of Physics (IOP)
         

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