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Polycrystalline silicon films obtained by hot-wire chemical vapour deposition
Cifre, J.; Bertomeu i Balagueró, Joan; Puigdollers i González, Joaquim; Polo Trasancos, Ma. del Carmen; Andreu i Batallé, Jordi; Lloret, A.
Universitat de Barcelona
Pel·lícules fines
Silici
Deposició en fase de vapor
Thin films
Silicon
Vapor-plating
(c) Springer Verlag, 1994
Artículo
info:eu-repo/semantics/acceptedVersion
Springer Verlag
         

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