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dc.contributor | Universitat de Barcelona |
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dc.contributor.author | Pérez, A. |
dc.contributor.author | Romano Rodríguez, Alberto |
dc.contributor.author | Serre, Christophe |
dc.contributor.author | Calvo Barrio, Lorenzo |
dc.contributor.author | Cabezas, R. |
dc.contributor.author | Morante i Lleonart, Joan Ramon |
dc.date | 1997 |
dc.identifier.citation | 0366-3175 |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2445/65410 |
dc.format | 5 p. |
dc.format | application/pdf |
dc.language.iso | spa |
dc.publisher | Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC) |
dc.relation | Reproducció del document publicat a: http://boletines.secv.es/areas/home.php?id=36 |
dc.relation | Boletin de la Sociedad Española de Ceramica y Vidrio, 1997, vol. 36, num. 3, p. 316-320 |
dc.rights | cc-by-nc (c) Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC). Sociedad Española de Ceramica y Vidrio, 1997 |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
dc.rights | http://creativecommons.org/licenses/by-nc/3.0/es |
dc.subject | Implantació d'ions |
dc.subject | Carbur de silici |
dc.subject | Microestructura |
dc.subject | Ion implantation |
dc.subject | Silicon carbide |
dc.subject | Microstructure |
dc.title | Síntesis de capas de SiC en substrato de Si mediante implantación iónica |
dc.type | info:eu-repo/semantics/article |
dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion |
dc.description.abstract |