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Síntesis de capas de SiC en substrato de Si mediante implantación iónica
Pérez, A.; Romano Rodríguez, Alberto; Serre, Christophe; Calvo Barrio, Lorenzo; Cabezas, R.; Morante i Lleonart, Joan Ramon
Universitat de Barcelona
Implantació d'ions
Carbur de silici
Microestructura
Ion implantation
Silicon carbide
Microstructure
cc-by-nc (c) Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC). Sociedad Española de Ceramica y Vidrio, 1997
http://creativecommons.org/licenses/by-nc/3.0/es
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Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC)
         

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