Para acceder a los documentos con el texto completo, por favor, siga el siguiente enlace: http://hdl.handle.net/2117/27244
dc.contributor | Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica |
---|---|
dc.contributor | Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies |
dc.contributor.author | Domínguez Pumar, Manuel |
dc.contributor.author | Gorreta Mariné, Sergio |
dc.contributor.author | Pons Nin, Joan |
dc.contributor.author | Blokhina, Elena |
dc.contributor.author | Giounanlis, Panonios |
dc.contributor.author | Feely, Orla |
dc.date | 2015-03-01 |
dc.identifier.citation | Dominguez, M. [et al.]. Real-time characterization of dielectric charging in contactless capacitive MEMS. "Analog integrated circuits and signal processing", 01 Març 2015, vol. 82, núm. 3, p. 559-569. |
dc.identifier.citation | 0925-1030 |
dc.identifier.citation | 10.1007/s10470-014-0458-y |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2117/27244 |
dc.language.iso | eng |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
dc.subject | Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Microelectrònica |
dc.subject | Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria de la telecomunicació::Processament del senyal::Adquisició i detecció del senyal |
dc.subject | Nanoelectronics |
dc.subject | MEMS reliability |
dc.subject | Dielectric charge dynamics |
dc.subject | Dielectric charge characterization |
dc.subject | Dielectric charge control |
dc.subject | SWITCHES |
dc.subject | Nanoelectrònica |
dc.title | Real-time characterization of dielectric charging in contactless capacitive MEMS |
dc.type | info:eu-repo/semantics/submittedVersion |
dc.type | info:eu-repo/semantics/article |
dc.description.abstract | |
dc.description.abstract |