To access the full text documents, please follow this link: http://hdl.handle.net/2117/27244

Real-time characterization of dielectric charging in contactless capacitive MEMS
Domínguez Pumar, Manuel; Gorreta Mariné, Sergio; Pons Nin, Joan; Blokhina, Elena; Giounanlis, Panonios; Feely, Orla
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies
Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Microelectrònica
Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria de la telecomunicació::Processament del senyal::Adquisició i detecció del senyal
Nanoelectronics
MEMS reliability
Dielectric charge dynamics
Dielectric charge characterization
Dielectric charge control
SWITCHES
Nanoelectrònica
info:eu-repo/semantics/submittedVersion
Article
         

Show full item record

Related documents

Other documents of the same author

Giounanlis, Panonios; Blokhina, Elena; Feely, Orla; Domínguez Pumar, Manuel; Pons Nin, Joan; Gorreta Mariné, Sergio
Gorreta Mariné, Sergio; Ruiz Fernández, Daniel; Blokhina, Elena; Pons Nin, Joan; Jimenez Serres, Vicente; O'Connell, D.; Feely, Orla; Madrenas Boadas, Jordi; Domínguez Pumar, Manuel
Gorreta Mariné, Sergio; Pons Nin, Joan; Blokhina, Elena; Feely, Orla; Domínguez Pumar, Manuel
Giounanlis, Panagiotis; Gorreta Mariné, Sergio; Domínguez Pumar, Manuel; Pons Nin, Joan; Feely, Orla; Blokhina, Elena
Domínguez Pumar, Manuel; Blokhina, Elena; Pons Nin, Joan; Feely, Orla; Sanchez Rojas, Jose Luis
 

Coordination

 

Supporters