Surface passivation and optical characterization of Al2O3/a-SiCx stacks on c-Si substrates
Author:
López Martí, Gema; Ortega Villasclaras, Pablo Rafael; Voz Sánchez, Cristóbal; Martín García, Isidro; Colina Brito, Mónica Alejandra; Morales Vilches, Ana Belén; Orpella García, Alberto; Alcubilla González, Ramón
Other authors:
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies
Subject(s):
-Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Microelectrònica -Nanoelectronics -Nanoelectrònica