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High-density capacitor devices based on macroporous silicon and metal electroplating
Vega, Didac; Reina Marsinyach, Jordi; Pavón Urbano, Ramón; Rodríguez Martínez, Ángel
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies
Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica
Porous silicon
Capacitors
Electrochemical etching
Electrodeposition
High density capacitors
Porous silicon
Silici porós
Condensadors elèctrics
Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Spain
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/es/
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