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Nanoparticles in SiH4-Ar plasma: Modelling and comparison with experimental data
Gordiets, B. F.; Inestrosa Izurieta, María José; Navarro, A.; Bertran Serra, Enric
Universitat de Barcelona
03-12-2013
Silici
Nanopartícules
Plasma (Gasos ionitzats)
Polímers
Pel·lícules fines
Dissociació (Química)
Silicon
Nanoparticles
Plasma (Ionized gases)
Polymers
Thin films
Dissociation
(c) American Institute of Physics , 2011
Artículo
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
American Institute of Physics
         

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